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アズワン 3インチTi+W(スパッタ)膜付きウェーハ(Ti50nm+W400nm ±10% 研究用[P(100) 1-100Ω] 片面ミラーDF品 5枚入



 
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研究用総合機器 /実験用素材 /ウェハー・基板
商品説明


●研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

●サイズ:3インチシリコンウェハ
●Ti(チタン)+W(タングステン)【スパッタ】膜厚み:50nm+400nm±10%(データ付き)
●直径(mm):76.0±0.5
●ウェハー厚(μm):380±25
●製造方法:CZ法
●導電型:P型
●面方位:100
●抵抗値(Ω・cm):1〜100
●OF長(mm):有
●面状態:ミラー/エッチド
●パーティクル:ダストフリー
●TTV(μm):≦20
●数量:5枚(1箱)

※特注対応品
●その他積層膜、パターニングなど多種取り扱いが御座いますので、お気軽にご相談下さいませ。

●多様な形状加工と表面処理が可能です(例:エッチング、ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー)。

●ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。


※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。


※膜ムラや膜厚みの狙いの商品につきましては、不問とさせて頂きます。
入数:1箱(5枚入)

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¥ 556,920-(税込)


アズワン 3インチTi+W(スパッタ)膜付きウェーハ(Ti50nm+W400nm ±10% 研究用[P(100) 1-100Ω] 片面ミラーDF品 5枚入 1


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#ギフト : ギフト包装不可能



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